EL-FLOW® Metal Sealed-serien erbjuder pålitliga och högprecisionslösningar för att mäta och kontrollera gasflöden i applikationer som kräver hög renhet och täthet. Dessa instrument är idealiska för användning i halvledarindustrin, forskning och utveckling samt andra känsliga processer.
Med sin termiska mätprincip levererar serien noggranna mätningar och stabil flödeskontroll, oberoende av gasens fysikaliska egenskaper. De är också utrustade med robusta metalltätningar för att säkerställa exceptionell tillförlitlighet i aggressiva miljöer.
Egenskaper & fördelar
- Metalltätning: För optimal renhet och täthet i kritiska applikationer.
- Hög precision: Noggrann mätning och stabil flödeskontroll även vid låga flöden.
- Kompakt design: Lätt att integrera i system med begränsat utrymme.
- Flexibla alternativ: Anpassningsbar för olika applikationer och gaser.
- Tål högt tryck: Designad för att klara upp till 100 bar.
Applikationer
- Halvledarproduktion: För noggrann gasleverans i kritiska processer.
- Forskning och utveckling: Precision för vetenskapliga experiment och laboratoriemiljöer.
- Medicinteknik: Kontrollerad gasfördelning i känsliga medicinska applikationer.
- Industriella processer: Hög prestanda i gasflödesstyrning för produktion och testning.
Modellöversikt:
| Modellnamn | Produktbeskrivning | Min. flöde | Max. flöde | Tryck (Pressure / ΔP) | Egenskaper |
|---|---|---|---|---|---|
| F-111CM | Metal Sealed Mass Flow Meter for Gases | 0,12…6 mln/min | 1…50 ln/min | 100 bar | Metal-to-metal outer seals, cleanroom assembled |
| F-201CM | Metal Sealed Mass Flow Controller for Gases | 0,12…6 mln/min | 1…50 ln/min | 64 bar | Metal-to-metal outer seals, cleanroom assembled |
